プラズマ用電源
| メーカー |
超短パルス電源：（株）末松電子製作所 直流安定化電源：（株）テクシオ・テクノロジー |
|---|---|
| 型式 |
超短パルス電源：PPM1000S-1KESP 直流安定化電源：PSW-1080H800 |
| 用途 | プラズマの発生のための超短パルス電源及びプラズマの制御ための直流安定化電源である。プラズマによる表面改質、成膜等に用いる。 |
| 仕様 |
(1)超短パルス電源
(2)直流安定化電源 |
| 購入年 | 2022年11月 |
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