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当該装置は、レーザー光を対象物に当てることにより高い解像度で観察できる顕微鏡です。また、対象物の表面を測定針で傷つけることなく(非接触で)凹凸などの3次元形状の把握が可能です。
活用事例はこちら (686KB; PDFファイル)
このページに関するお問い合わせ
材料環境部 TEL:0952-30-8163