走査電子顕微鏡（電源立地地域対策交付金）
| メーカー | （株）日立ハイテク |
|---|---|
| 型式 | SU5000 |
| 用途 | 電子銃から放出される電子線を試料に照射し、試料から発生する二次電子等を検出し、試料表面を微細に観察する装置です。また、検出器にエネルギー分散型X線分析装置（EDS）と後方散乱電子回折装置（EBSD）を備えることで試料の元素分析（定性・半定量）や結晶方位解析が可能です。 |
| 仕様 |
【走査電子顕微鏡】（株）日立ハイテク SU5000 ・電子銃：ショットキーエミッション電子銃 ・加速電圧：0.5～30kV ・写真倍率：10～600,000倍 ・試料サイズ：最大直径200mm,最高80mm ・検出器：二次電子検出器,高感度低真空検出器（UVD）,半導体形反射電子検出器（PD-BSD）
【エネルギー分散型X線分析装置】 AMETEK Octane Elect Super ・Be〜Uまでの定性,半定量分析が可能
【後方散乱電子回折装置】 AMETEK DegiView5 ・測定スピード 120点/秒 ・角度精度 1° |
| 購入年 | 2023年4月 |
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